Просмотр публикации #631


Редактор : Некрылова И. М.

Дата создания: 2009-03-31 10:17:20
Дата модификации: 2009-03-31 17:33:53

Наименование :

Авторы :
Фамилия
 Имя
 Отчество
 Вклад

Выходные данные :
Балашов, Д. И. Особенности травления медных пленок в условиях низкотемпературной газовой плазмы хлора и хлороводорода [Текст] / Д. И. Балашов, А. М. Ефремов, В. И. Светцов // Материалы Международной научно-практической конфеенции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения» (INTERMATIC–2003), Москва, 9–12 июня 2003 г. – М., 2003. – С. 148–150.
Атрибуты библиографической записи

Объект библиографического описания


Язык :
Форма работы :
Категория работы :
Вид публикации для ИАИС :
Общее обозначение материала :
Наименование издания :
Сведения об ответственности издания :
Место издания (город) :
Издательство :
Год издания :
Местоположение (номера страниц) :
Количество страниц :
Примечание к форме 16 :
Время и место проведения конференции :



Статус : Проверена

PetrSU | DIMS&PhE | Contact Us | © 2008 Lab127 Team