СУП: Система учёта публикаций
Просмотр публикации #440
Редактор :
Соловьев А. В.
Дата создания: 2008-09-06 23:14:43
Дата модификации: 2008-09-06 23:14:43
Наименование :
Development of vanadium-oxide resist by reactive etching in chlorine plasma
Авторы :
Фамилия
Имя
Отчество
Вклад
Выходные данные :
Velichko, A. A. Development of vanadium-oxide resist by reactive etching in chlorine plasma [Text] / A. A. Velichko, N. A. Kuldin, G. B. Stefanovich, A. L. Pergament // 20th General Conference of Condensed Matter Division EPS, Prague, July 2004. Book of Abstracts. – Prague, 2004. – P. 140.
Атрибуты библиографической записи
Объект библиографического описания
- - - - -
ОДНОТОМНЫЕ ИЗДАНИЯ - Патентные документы
СОСТАВНЫЕ ЧАСТИ ДОКУМЕНТОВ - Статья из книги или другого разового издания
СОСТАВНЫЕ ЧАСТИ ДОКУМЕНТОВ - Статья из сериального издания
КНИГА
ЭЛЕКТРОННЫЕ РЕСУРСЫ
ДЕПОНИРОВАННЫЕ НАУЧНЫЕ РАБОТЫ
Язык :
Форма работы :
Категория работы :
Вид публикации для ИАИС :
Общее обозначение материала :
Наименование издания :
Сведения об ответственности издания :
Место издания (город) :
Издательство :
Год издания :
Местоположение (номера страниц) :
Количество страниц :
Примечание к форме 16 :
Статус :
Проверена
Auth @ DIMS.PRV
Login:
Password:
PetrSU
|
DIMS&PhE
|
Contact Us
|
© 2008 Lab127 Team