Просмотр публикации #2108


Редактор : Соловьев А. В.

Дата создания: 2025-01-07 00:55:49
Дата модификации: 2025-01-07 00:57:04

Наименование :

Авторы :
Фамилия
Имя
Отчество
Вклад

Выходные данные :
Объединенная конференция «Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике» КЭЛТ-2023: тезисы докладов [Электр. текст. дан.]. – Черноголовка, 2023. – Режим доступа: https://cebt23.iptm.ru/download/cebt-23.pdf.

Атрибуты библиографической записи

Объект библиографического описания



Название конференции :
Язык :
Форма работы :
Вид публикации для ИАИС :
Значимость публикации: РИНЦ :
Категория работы :
Общее обозначение материала :
Примечание к форме 16 :
URL :
Время и место проведения конференции :
Год издания :
Место издания (город) :



Статус : Скрытая

PetrSU | DIMS&PhE | Contact Us | © 2008 Lab127 Team